著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 佐藤 力 and 水島 一郎 and 綱島 祥隆,シリコンの表面マイグレーションを利用した新しい基板エンジニアリング~ESS (Empty Space in Silicon) による大面積SON (Silicon on Nothing) の形成~,電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌),03854221,一般社団法人 電気学会,2001,121,3,524-529,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679587709184,https://doi.org/10.1541/ieejeiss1987.121.3_524