著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 藤田 博 and 桜井 直明,A104 基板スピン洗浄における飛散ミストの可視化,可視化情報学会誌,09164731,社団法人 可視化情報学会,1996,16,Supplement2,15-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679597425536,https://doi.org/10.3154/jvs.16.supplement2_15