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西原 功修 and 西村 博明 and 望月 孝晏 and 佐々木 明,レーザー生成プラズマを用いた次世代リソグラフィＥＵＶ光源,レーザー研究,03870200,一般社団法人 レーザー学会,2004,32,5,330-336,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679622205568,https://doi.org/10.2184/lsj.32.330