著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
次田 純一 and 小林 直之 and 草間 秀晃,ＸｅＣｌエキシマレーザーによるポリシリコンＴＦＴアニーリング,レーザー研究,03870200,一般社団法人 レーザー学会,2000,28,1,24-28,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679622860288,https://doi.org/10.2184/lsj.28.24