著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 長坂 浩志,窒素化合物のもたらす新素材 3 超硬質TiN膜の特性と応用,電気学会誌,13405551,一般社団法人 電気学会,1999,119,12,749-751,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679638221568,https://doi.org/10.1541/ieejjournal.119.749