著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
浅川 俊文 and 天野 正勝,半導体集積回路の製造技術,精密機械,0374-3543,公益社団法人 精密工学会,1967,33,388,339-347,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679709021312,https://doi.org/10.2493/jjspe1933.33.339