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佐久田 茂 and 小川 潔 and 上田 勝宣,超精密位置制御に関する研究 粗・微動の連動制御,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1991,57,12,2133-2138,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679740380672,https://doi.org/10.2493/jjspe.57.2133