著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
樋口 俊郎,最近のクリーン・非接触搬送技術 静電気力によるシリコンウエハとガラスの非接触搬送,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1997,63,7,943-946,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679740697600,https://doi.org/10.2493/jjspe.63.943