著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 大澤 健一郎 and 戸倉 和,エキシマレーザ光照射による微小溝の形成,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1998,64,1,121-125,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679740766208,https://doi.org/10.2493/jjspe.64.121