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垣内 弘章 and 芳井 熊安 and 安武 潔 and 竹内 昭博 and 広瀬 喜久治 and 森 勇藏,高周波スパッタ蒸着法による多結晶Siの低温成膜に関する研究 (第2報),精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1997,63,2,233-237,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679741561472,https://doi.org/10.2493/jjspe.63.233