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福田 喜輝 and 秋山 伸幸 and 吉村 剛治,気化媒体並列保持系と吸引式ＦＩＤを用いたセラミックスクラック自動検出装置の開発,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1998,64,8,1176-1180,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679741568000,https://doi.org/10.2493/jjspe.64.1176