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高谷 裕浩 and 三好 隆志 and 外山 潔 and 斎藤 勝政,回折パターンによる極微細溝形状の測定評価に関する研究 矩形溝形状の測定評価,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1991,57,11,2041-2047,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679741616256,https://doi.org/10.2493/jjspe.57.2041