著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
須崎 嘉文 and 中村 茂昭 and 垣内 弘章 and 芳井 熊安 and 川辺 秀昭,スパッタ法により作製したａ‐Ｓｉ／ａ‐ＳｉＣ超格子薄膜の構造,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1994,60,1,138-142,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679741751296,https://doi.org/10.2493/jjspe.60.138