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赤松 潔 and 藤沢 政泰 and 桝田 正美 and 油井 肇 and 河西 敏雄,シリコンウエハの枚葉式研磨におけるソフトチャッキング技術,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1993,59,1,149-154,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679741767808,https://doi.org/10.2493/jjspe.59.149