著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐久田 茂 and ヨセフ=トーミ カマル,ＳＴＭを用いた超精密角度センサ （第２報） 原子頂点の追跡とヨーイング測定,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1997,63,6,807-811,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679742527488,https://doi.org/10.2493/jjspe.63.807