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山内 和人 and 片岡 俊彦 and 遠藤 勝義 and 稲垣 耕司 and 杉山 和久 and 牧野 修之 and 森 勇藏,ＥＥＭ（Ｅｌａｓｔｉｃ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）に関する研究 加工液中の溶存酸素がＳｉウエハ表面に与える影響,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1998,64,6,907-912,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679742759424,https://doi.org/10.2493/jjspe.64.907