著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
浅川 潔,光集積回路の微細加工技術,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1987,53,6,861-864,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679772620032,https://doi.org/10.2493/jjspe.53.861