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稲垣 清紀 and 森田 昇 and 芦田 極 and 斉藤 潤二,マシニングセンタ型ナノ加工・計測システムの開発に関する研究,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2008,74,11,1176-1181,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679773108096,https://doi.org/10.2493/jjspe.74.1176