著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
島津 信生,荷電ビームを応用する加工と計測 低加速電子ビーム近接転写技術の開発,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2001,67,9,1398-1402,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679773443200,https://doi.org/10.2493/jjspe.67.1398