著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
伊藤 義武 and 城島 正男 and 水上 雅人,MEMS商品化を支えるファウンダリサービス,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2010,76,5,487-490,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679773581568,https://doi.org/10.2493/jjspe.76.487