著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
吉田 浩也 and 松室 昭仁 and 岩田 博之 and 高木 誠,SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2007,73,10,1149-1153,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679773868032,https://doi.org/10.2493/jjspe.73.1149