著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 青山 尚之 and 新野 弘司,小型自走機械群による超精密生産機械システム 第3報 毛細管捕獲プローブの設計と応用,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2001,67,11,1792-1797,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679773884800,https://doi.org/10.2493/jjspe.67.1792