著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 堀内 宰,精密・超精密位置決めの現状と将来予想 精密・超精密位置決めの高速化 ボールねじ対リニアモータ,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2001,67,2,179-183,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679774180352,https://doi.org/10.2493/jjspe.67.179