著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 厨川 常元,【ナノ精度機械加工専門委員会】M 4プロセスの新しい世界を拓く,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2004,70,8,1014-1016,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679774526848,https://doi.org/10.2493/jjspe.70.1014