著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 小野 明,エレクトロニクス産業関連の欠陥検査,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1987,53,8,1158-1160,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679774584320,https://doi.org/10.2493/jjspe.53.1158