著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
伊藤 幸弘 and 夏 恒 and 国枝 正典,三点支持裏返し法によるシリコンウェーハの反りと板厚の同時測定,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2010,76,11,1305-1309,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679774683136,https://doi.org/10.2493/jjspe.76.1305