著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
大見 忠弘 and 寺本 章伸,超精密加工・計測を支える環境制御技術 次世代半導体プロセスにおけるウルトラクリーンテクノロジー 全くゆらぎのない半導体製造プロセス,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2002,68,9,1144-1149,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679774695936,https://doi.org/10.2493/jjspe.68.1144