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三好 隆志 and 宮腰 貴宏 and 斎藤 勝政,Ｆｒａｎｈｏｆｅｒ回折による超精密ダイヤモンド旋削面の粗さ測定,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1987,53,5,736-742,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679774785024,https://doi.org/10.2493/jjspe.53.736