著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 吉澤 徹 and 大谷 幸利,サブミクロン感度をもつモアレトポグラフィ法,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1989,55,1,152-154,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679774928640,https://doi.org/10.2493/jjspe.55.152