著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 溝渕 啓 and 小川 仁 and 升田 雅博,ガラス基板への通り穴加工におけるステップ加工時の加工条件と欠けの抑制,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2011,77,3,296-300,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679775025792,https://doi.org/10.2493/jjspe.77.296