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尾嶌 裕隆 and 周 立波 and 清水 淳,大口径Siウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2013,79,7,677-681,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679805063040,https://doi.org/10.2493/jjspe.79.677