著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
安武 潔,【超精密加工専門委員会】原子制御製造プロセスの創出に向けて,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2013,79,10,887-890,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679805272576,https://doi.org/10.2493/jjspe.79.887