著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
草野 英二,走査型プローブ顕微鏡による薄膜表面粗さ測定のJIS化,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2013,79,3,205-208,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679805538176,https://doi.org/10.2493/jjspe.79.205