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長洲 慶典 and 中山 昇 and 伊東 一典 and 大谷 真 and 江口 穫正,低周波音響信号利用による微細穴検査技術,精密工学会誌,13464930,公益社団法人 精密工学会,2014,80,11,1023-1030,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679806658048,https://doi.org/10.2493/jjspe.80.1023