著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 室谷 裕志,基板の表面粗さが光学薄膜の光散乱に与える影響について,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2014,80,6,519-523,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679807054464,https://doi.org/10.2493/jjspe.80.519