著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 安達 正明 and 佐々木 祐理,光路差がランダムに変動する状況下での波長シフト干渉計を用いた粗面の3次元形状計測,精密工学会誌,0912-0289,公益社団法人 精密工学会,2016,82,4,384-389,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679807352704,https://doi.org/10.2493/jjspe.82.384