著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
寒川 誠二,プラズマエッチングプロセスの進展と今後の展開,電気学会誌,13405551,一般社団法人 電気学会,2008,128,3,166-168,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679971442432,https://doi.org/10.1541/ieejjournal.128.166