著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 川嶋 健嗣 and 加藤 友規 and 山崎 俊平 and 香川 利春,気体用の超精密高速応答圧力レギュレータの開発,日本フルードパワーシステム学会論文集,13467719,一般社団法人 日本フルードパワーシステム学会,2007,38,2,29-34,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680230822272,https://doi.org/10.5739/jfps.38.29