著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 清家 善之 and 川島 早由里 and 宮地 計二 and 土肥 俊郎 and フィリポシアン アラ,新しい高圧マイクロジェット洗浄技術の提案とその装置化,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2005,71,1,110-114,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680256779648,https://doi.org/10.2493/jspe.71.110