著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
細野 高史 and 戸倉 和,単結晶シリコン表面のレーザパターニング,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2005,71,6,729-733,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680257123968,https://doi.org/10.2493/jspe.71.729