著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 松田 信一 and 大野 学 and 泉 俊之 and 加藤 重雄,金属ベローズ型気液相変化アクチュエータ,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2005,71,6,723-728,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680257125120,https://doi.org/10.2493/jspe.71.723