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花山 良平 and 日比野 謙一 and BURKE Jan and OREB Bozenko F. and 割澤 伸一 and 光石 衛,波長走査干渉計による多面干渉計測手法の開発,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2005,71,5,579-583,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680257143936,https://doi.org/10.2493/jspe.71.579