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深津 拡也 and 三須 清孝 and 柳 和久,光触針式輪郭測定における傾斜測定誤差の補正法,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2005,71,5,590-594,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680257145472,https://doi.org/10.2493/jspe.71.590