著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
橋川 淳,光学的手法による微細構造体の面内変位計測,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2004,70,4,517-521,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680257268736,https://doi.org/10.2493/jspe.70.517