著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
森 勇藏 and 垣内 弘章 and 芳井 熊安 and 安武 潔 and 大参 宏昌 and 江畑 裕介 and 中村 恒夫 and 竹内 博明 and 北條 義之 and 古川 和彦,大気圧プラズマCVDによる超高速形成アモルファスSiを発電層とした薄膜太陽電池の基礎特性,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2004,70,4,562-567,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680257281920,https://doi.org/10.2493/jspe.70.562