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室田 真弘 and 鈴村 宜暁 and 石田 徹 and 竹内 芳美 and 河合 知彦 and 沢田 潔,超精密マイクロV形止り溝の創成,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2004,70,5,677-682,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680258077184,https://doi.org/10.2493/jspe.70.677