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中島 隆介 and 三好 隆志 and 高谷 裕浩,赤外エバネッセント光による SOIウエハ薄膜層欠陥検出に関する研究,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2006,72,6,785-790,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680258558080,https://doi.org/10.2493/jspe.72.785