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加藤 友規 and 川嶋 健嗣 and 澤本 晃一 and 舩木 達也 and 香川 利春,スプール型サーボ弁と層流型高速流量計を用いた空圧式アクティブ除振台の制御,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2006,72,6,772-777,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680258881920,https://doi.org/10.2493/jspe.72.772