著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
星 陽一 and 小林 信一 and 内田 孝之 and 澤田 豊 and 雷 浩,有機 EL 素子作製のための低ダメージスパッタ堆積法の開発,Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2016,59,3,59-64,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680270570880,https://doi.org/10.3131/jvsj2.59.59