著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
幾世 和将 and 吉村 智 and 滝澤 敏史 and 唐橋 一浩 and 木内 正人 and 浜口 智志,光照射を重畳したＣＦ３イオンビームによるＳｉＯ２エッチング率の測定,Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2008,51,3,158-161,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680272150528,https://doi.org/10.3131/jvsj2.51.158